Оптические методы измерения нанометровых металлических слоёв

Учебное пособие для студ. фак. Нано- и биомедицинских технологий. – Саратов, СГУ, 2007. - 50 с.Авторы: Усанов Д.А., Скрипаль Ал.В., Скрипаль Ан.В., Абрамов А.В.В учебном пособии изложены принципы работы микроинтерферометров, а также способы применения микроинтерферометров для измерения параметров слоистых наноструктур. Описаны особенности формирования интерференционной картины при отражении оптического излучения от проводящих структур. Приведено описание автоматизированной системы обработки и анализа интерференционных изображений "МИИ-4 Видео". Сформулированы задания к лабораторным занятиям.Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника», специальностям «Физика твердого тела», «Физика», «Медицинская физика», «Материалы и компоненты твердотельной электроники», «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы», «Микроэлектроника и твердотельная электроника», «Нанотехнологии в электронике», а также научных сотрудников, аспирантов, инженеров, занимающихся проведением автоматизированного видеоконтроля.