Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs
Frank Schröder-Oeynhausen (auth.)Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.
ক্যাটাগোরিগুলো:
সাল:
1997
সংস্করণ:
1
প্রকাশক:
Deutscher Universitätsverlag
ভাষা:
german
পৃষ্ঠা:
138
ISBN 10:
3824420910
ISBN 13:
9783824420919
ফাইল:
PDF, 4.03 MB
IPFS:
,
german, 1997
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